{"title":"Структурные и оптические свойства многослойных периодических структур с\u0000псевдоморфными слоями GeSiSn","authors":"В. А. Тимофеев, В И Машанов, А. И. Никифоров","doi":"10.34077/rcsp2021-78","DOIUrl":"https://doi.org/10.34077/rcsp2021-78","url":null,"abstract":"В работе изучен рост многослойных периодических структур и сверхрешеток, включающих\u0000упругонапряженные слои GeSiSn с содержанием олова от 0 до 18 %. Установлена кинетическая\u0000диаграмма роста слоев GeSiSn с высоким содержанием Sn в диапазоне температур 100 – 300 °C. На\u0000основе кинетических диаграмм роста пленок GeSiSn выбиралась область толщин, соответствующая\u0000псевдоморфному состоянию. В","PeriodicalId":356596,"journal":{"name":"ФОТОНИКА-2021 : ТЕЗИСЫ ДОКЛАДОВ РОССИЙСКОЙ КОНФЕРЕНЦИИ И ШКОЛЫ МОЛОДЫХ УЧЕНЫХ ПО АКТУАЛЬНЫМ ПРОБЛЕМАМ ПОЛУПРОВОДНИКОВОЙ ФОТОЭЛЕКТРОНИКИ","volume":"16 1","pages":"0"},"PeriodicalIF":0.0,"publicationDate":"2021-09-27","publicationTypes":"Journal Article","fieldsOfStudy":null,"isOpenAccess":false,"openAccessPdf":"","citationCount":null,"resultStr":null,"platform":"Semanticscholar","paperid":"132805007","PeriodicalName":null,"FirstCategoryId":null,"ListUrlMain":null,"RegionNum":0,"RegionCategory":"","ArticlePicture":[],"TitleCN":null,"AbstractTextCN":null,"PMCID":"","EPubDate":null,"PubModel":null,"JCR":null,"JCRName":null,"Score":null,"Total":0}