{"title":"Влияние эффекта Пельтье на границе ВСМ– Si(Mn), содержащей пористость,\u0000на процесс инжекции носителей заряда","authors":"A. С. Орехов, Т.С. Камилов","doi":"10.34077/rcsp2019-144","DOIUrl":"https://doi.org/10.34077/rcsp2019-144","url":null,"abstract":"Исследование электрических и фотоэлектрических свойств кремния, легированного марганцем\u0000(Si), проводилось в течение длительного времени [1]. В дальнейшем изучались физикохимические процессы, происходящие в приповерхностном слое и в объемной части кремния при\u0000диффузионном легировании марганцем из паровой фазы. Было показано, что при диффузии Mn в Si\u0000на поверхности кремния происходит образование высшего силицида марганца (ВСМ) Mn4SI7.\u0000Исследуемые диоды Mn4Si7-Si-Mn4Si7 и Mn4SI7-Si-M изготавливали с помощью\u0000диффузионного легирования кремния марки КДБ–10 марганцем. Параметры исследуемой\u0000гетероструктуры при Т = 300 К: слой ВСМ (Mn4Si7) имеет толщину 7 – 10 мкм, проводимость σ ≈ 20\u0000(Ом · см) –1\u0000, р-типа с концентрацией носителей ~1019\u0000– 1020 см–3\u0000; база структуры Si\u0000проводимостью i-типа с концентрацией носителей 1011\u0000– 1012 см–3\u0000; площадь токовых контактов ВСМ\u0000и М – 2ˑ10–2 см–2\u0000: длина базовых областей – от 0,3 до 1 см. Контакт (М) создавался путем нанесения\u0000сплавов NiGa или AlGa. Электрические и фотоэлектрические характеристики структур снимались\u0000непосредственно в жидком азоте, а также в специальном криостате. В качестве источника света\u0000использовался арсенид галлиевый светодиод, интенсивность излучения которого регулировалась\u0000заданием прямого тока диода. Переходная область структуры и ее элементный состав на границе\u0000раздела ВСМ – Si исследовалась методами электронной дифракции и электронной\u0000микроскопии. При измерении Фото-ВАХ установлено, что при значениях фототока Iф~4∙10-4 А\u0000происходило пузырьковое кипение жидкого азота, а при токах свыше Iф ≥10-3 А происходило\u0000пленочное кипение на приграничной области контакта, т.е. на границе раздела Mn4Si7 и Si.\u0000Методом фокусированного ионного пучка галлия Ga+\u0000был приготовлен поперечный срез пленки\u0000ВСМ на подложке кремния. Методом сканирующей электронной микроскопии выявлено наличие\u0000пористого слоя вдоль границы раздела Mn4Si7 и Si. Расстояние между порами в среднем\u0000составляло t~1-1,5 мкм. Установлено, что контакты Si- Mn4SI7имеют не сплошной характер,\u0000«стягивание» линий тока к контактным точкам может приводить к появлению в подобной области\u0000повышенного сопротивления и, соответственно, локального выделения высокой электрической\u0000мощности и нагрев Пельтье. На основе исследований гетероструктур при низких температурах\u0000установлено, что освещение собственным светом при фототоке Iph ≥ 1 ma, и нагрев вследствие\u0000эффекта Пельтье, приводят к существенному перегреву границы раздела, обусловленному\u0000фототермоэлектрическим эффектом. Фототермоэлектрический эффект на границе раздела Мn4Si7 с\u0000Si (нагрев Пельтье) и поры на границе раздела силицида с кремнием приводят к разделению\u0000фотогенерированных носителей заряда (электронов и дырок), вследствие чего на порядки\u0000усиливается фоточувствительность гетероструктур.","PeriodicalId":118786,"journal":{"name":"Тезисы докладов Российской конференции и школы молодых ученых по актуальным проблемам полупроводниковой фотоэлектроники «ФОТОНИКА-2019»","volume":"546 1","pages":"0"},"PeriodicalIF":0.0,"publicationDate":"2019-05-24","publicationTypes":"Journal Article","fieldsOfStudy":null,"isOpenAccess":false,"openAccessPdf":"","citationCount":null,"resultStr":null,"platform":"Semanticscholar","paperid":"116248810","PeriodicalName":null,"FirstCategoryId":null,"ListUrlMain":null,"RegionNum":0,"RegionCategory":"","ArticlePicture":[],"TitleCN":null,"AbstractTextCN":null,"PMCID":"","EPubDate":null,"PubModel":null,"JCR":null,"JCRName":null,"Score":null,"Total":0}