{"title":"Светоизлучающие структуры для кремниевой оптоэлектроники на основе локально\u0000растянутых Ge микроструктур","authors":"","doi":"10.34077/rcsp2019-70","DOIUrl":"https://doi.org/10.34077/rcsp2019-70","url":null,"abstract":"В последние годы Ge становится одним из ключевых материалов кремниевой фотоники. В\u0000частности значительные надежды связываются с применением деформированного (растянутого) Ge\u0000для решения проблемы создания на кремнии эффективного источника излучения ближнего ИК\u0000диапазона. Физическим обоснованием этих надежд является уменьшение исходно небольшого (134\u0000мэВ при 300К) энергетического зазора между прямой и непрямой запрещенными зонами Ge при его\u0000растяжении. Однако уровни деформации, необходимые для существенного уменьшения этого зазора,\u0000значительны: зазор становится нулевым при двухосной деформации в 1.5-2 % или одноосной вдоль\u0000направления (100) в 4.5-5%. Столь высокие значения деформации труднодостижимы в сплошных Ge\u0000пленках. Поэтому в настоящее время активно ведутся работы по созданию локально\u0000деформированных Ge микроструктур и исследованию их излучательных свойств. В настоящей работе\u0000представлены результаты по формированию одноосно деформированных Ge микроструктур и\u0000исследованию их спектров люминесценции.\u0000Для создания деформированных Ge микроструктур использовались релаксированные Ge слои,\u0000выращенные методом МПЭ на Si(001) или SOI подложках, которые из-за разницы коэффициентов\u0000термического расширения Si и Ge характеризовались двуосной деформацией растяжения 0.2÷0.25%.\u0000Данная деформация может быть многократно увеличена при формировании метод “концентрации\u0000напряжений” [1] микроструктур типа «микромостика». Локальные измерения распределения\u0000деформации, выполненные методом микро-КРС, показали возрастание деформации в центре\u0000микромостиков более чем на порядок по сравнению с исходной Ge пленкой [2]. Для решения\u0000проблемы теплоотвода от свободновисящих микромостиков использовались подложки SOI с тонкими\u0000слоями захороненного окисла и кремния над ним (200 и 100 нм, соответственно). Это позволило за\u0000счет адгезии реализовать механический контакт между подложкой и микромостиком после его\u0000формирования («подвешивания»). Проведенные исследования показали, что реализация такого\u0000подхода позволяет в несколько раз увеличить плотность оптической накачки, которая приводит к\u0000разрушению микромостиков. Методом микро-ФЛ при комнатной температуре выполнены подробные\u0000исследования модификации спектров ФЛ при возбуждении\u0000различных частей сформированных Ge микроструктур.\u0000Показано значительное возрастание интегральной\u0000интенсивности сигнала ФЛ в области микромостиков и его\u0000сдвиг в область меньших энергий по сравнению с\u0000исходной Ge пленкой, (рис. 1). Данные изменения вызваны\u0000уменьшением ширин прямой и непрямой запрещенных зон\u0000и энергетического зазора между ними при одноосном\u0000растяжении Ge вдоль направления типа (100). Выявлено,\u0000что форма сигнала ФЛ от микромостиков в значительной\u0000мере определяется интерференционными эффектами,\u0000вызванными отражением излучения от внешних границ\u0000микроструктуры (рис. 1). Установлена преимущественная\u0000поляризация излучения от микромостиков. Обсуждается\u0000возможность использования различных микрорезонаторов\u0000для увеличения эффективности вывода излучения из лок","PeriodicalId":118786,"journal":{"name":"Тезисы докладов Российской конференции и школы молодых ученых по актуальным проблемам полупроводниковой фотоэлектроники «ФОТОНИКА-2019»","volume":"64 1","pages":"0"},"PeriodicalIF":0.0,"publicationDate":"2019-05-24","publicationTypes":"Journal Article","fieldsOfStudy":null,"isOpenAccess":false,"openAccessPdf":"","citationCount":null,"resultStr":null,"platform":"Semanticscholar","paperid":"126649456","PeriodicalName":null,"FirstCategoryId":null,"ListUrlMain":null,"RegionNum":0,"RegionCategory":"","ArticlePicture":[],"TitleCN":null,"AbstractTextCN":null,"PMCID":"","EPubDate":null,"PubModel":null,"JCR":null,"JCRName":null,"Score":null,"Total":0}