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Personen: Vakuum in Forschung und Praxis 3/2023 真空研究和实践
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Vakuum in Forschung und Praxis Pub Date : 2023-06-01 DOI: 10.1002/vipr.202370305
Jürgen Röpcke, A. Pflug
{"title":"Personen: Vakuum in Forschung und Praxis 3/2023","authors":"Jürgen Röpcke, A. Pflug","doi":"10.1002/vipr.202370305","DOIUrl":"https://doi.org/10.1002/vipr.202370305","url":null,"abstract":"Der renommierte rudolf-seeliger-Preis der Deutschen Gesellschaft für Plasmatechnologie wurde ende März im rahmen der 20. Fachtagung für Plasmatechnologie in Bochum an Prof. Dr. Jürgen röpcke verliehen. Der langjährige Mitarbeiter des Leibniz-Institutes für Plasmaforschung und Technologie erhält den Preis für sein Lebenswerk. Mit dem rudolf-seeliger-Preis zeichnet die DGPT verdiente Persönlichkeiten der Plasmaforschung aus. „Professor Jürgen röpcke hat mit seinen Arbeiten zur Laserabsorptionsspektroskopie bahnbrechende Beiträge zum Verständnis reaktiver Plasmen geleistet und mittels Plasmadiagnostik völlig neue optionen für das Verständnis und die Kontrolle plasmatechnologischer Prozesse eröffnet,“ sagt Dr. Anke Dalke, Vorstandsvorsitzende der Deutschen Gesellschaft für Plasmatechnologie. Prof. Dr. Klaus-Dieter Weltmann, Vorstandsvorsitzender des Leibniz-Institut für Plasmaforschung und Technologie gratuliert röpcke zu der Auszeichnung: „sein Beitrag zur Plasmadiagnostik hat nicht nur unser Institut, sondern die gesamte Wissenschaft in diesem Feld inspiriert und neue erkenntnisse ermöglicht.“ röpcke studierte Physik an der Universität Greifswald, wo er auch promovierte und habilitierte. seit 1982 arbeitete er am Zentralinstitut für elektronenphysik der Akademie der Wissenschaften, aus dem 1992 das heutige Leibniz-Institut für Plasmaforschung und Technologie hervorging. Dort leitete er ab 2004 die Gruppe Plasmadiagnostik. nach seiner Dissertation über die entladungsentwicklung in Plasmadisplays beschäftigte er sich mit der Plasmadiagnostik in diamantabscheidenden Plasmen, mit der spektroskopie in nichtthermischen Wasserstoffplasmen und der Absorptionsspektroskopie im mittleren Infrarotbereich, mit der eine hochempfindliche Detektion von Plasmaspezies erstmalig ermöglicht wurde. Im Jahre 2005 wurde er zum Honorarprofessor an der Hochschule stralsund ernannt. Als ein Gründungsgeschäftsführer des InP-spinoffs neoplas Control unterstützte er in den Anfangsjahren den Transfer von Quantenkaskaden-Lasertechnologie von der Wissenschaft in die Wirtschaft. Der Preis ist benannt nach rudolf Karl Hans seeliger, einem Pionier der Gasentladungsphysik. seeliger war ab 1918 Professor an der Universität Greifswald und leitete ab 1949 das Institut für Gasentladungsphysik der Akademie der Wissenschaften.","PeriodicalId":42842,"journal":{"name":"Vakuum in Forschung und Praxis","volume":null,"pages":null},"PeriodicalIF":0.1,"publicationDate":"2023-06-01","publicationTypes":"Journal Article","fieldsOfStudy":null,"isOpenAccess":false,"openAccessPdf":"","citationCount":null,"resultStr":null,"platform":"Semanticscholar","paperid":"48551904","PeriodicalName":null,"FirstCategoryId":null,"ListUrlMain":null,"RegionNum":0,"RegionCategory":"","ArticlePicture":[],"TitleCN":null,"AbstractTextCN":null,"PMCID":"","EPubDate":null,"PubModel":null,"JCR":null,"JCRName":null,"Score":null,"Total":0}
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Forschung: Vakuum in Forschung und Praxis 3/2023 研究:真空到研究和实践中
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Vakuum in Forschung und Praxis Pub Date : 2023-06-01 DOI: 10.1002/vipr.202370304
{"title":"Forschung: Vakuum in Forschung und Praxis 3/2023","authors":"","doi":"10.1002/vipr.202370304","DOIUrl":"https://doi.org/10.1002/vipr.202370304","url":null,"abstract":"Eine revolutionäre neue Meta-optik für Mikroskope mit extrem hoher räumlicher und zeitlicher Auflösung hat in Labortests an der Tu graz ihre Einsatztauglichkeit bewiesen. Mikroskope mit dieser optik versprechen völlig neue Forschungsund Entwicklungsansätze besonders in der halbleiterund in der solarzellentechnologie. Die Mikroskop-optik des Forschungsteams der Tu graz und der harvard university in cambridge, usA, ermöglicht erstmals die Verwendung extrem ultravioletter strahlung. Durch deren äußerst kurze Wellenlänge lassen sich ultraschnelle physikalische Vorgänge im Attosekundenbereich verfolgen, beispielsweise Echtzeitaufnahmen aus dem Inneren moderner Transistoren oder die Wechselwirkung von Molekülen und Atomen mit Licht. Die Attosekundenphysik verwendet extrem ultraviolettes Licht. Weil dieses schnell oszilliert und alle Materialien aus dem Baukasten der optikentwicklung für dieses Licht undurchsichtig sind, gab es bisher keine brauchbaren Abbildungssysteme dafür. „Ich habe mir die Frage gestellt, ob man das klassische Prinzip der optik nicht umkehren kann“, erklärt Marcus ossiander von der Tu graz. „Kann man die Abwesenheit von Material in kleinen Bereichen als grundlage eines optischen Elementes verwenden?“ Die auf Basis dieser Idee an der harvard university entwickelte und an der Tu graz erfolgreich getestete optik setzt dieses Designprinzip um: Eine exakt berechnete Anordnung kleinster Löcher in einer äußerst dünnen siliziumfolie leitet und bündelt das einfallende Attosekundenlicht. Eine bemerkenswerte Beobachtung des Forschungsteams: Diese Vakuumtunnel transmittieren mehr Lichtenergie, als es aufgrund der mit Löchern bedeckten Fläche möglich sein sollte. Das bedeutet, die neuartige Meta-optik saugt das ultraviolette Licht regelrecht in den Brennpunkt. Für diesen Durchbruch erforderlich sind extrem kleine und genau kontrollierte strukturen. Deren herstellung bewegt sich nahe an der grenze des heutzutage technisch Machbaren. Die technische umsetzung bewerkstelligte das in diesem Bereich weltweit federführende Team um Federico capasso in cambridge nach einer Experimentierphase von rund zwei Jahren. Der nachweis der Funktionsfähigkeit gelang in Zusammenarbeit mit der Tu graz. „Das ist ein schöner Erfolg für die Kooperation zwischen der harvard univerity und der Tu graz. Jetzt wollen wir damit bald Mikroelektronik, nanopartikel und ähnliches untersuchen“, erklärt ossiander. Die Meta-optik besteht aus einer etwa zweihundert nanometer dünnen Folie, in die winzig kleine Lochstrukturen geätzt wurden. Die gesamte optik besteht aus vielen hundert Millionen Löchern. Pro Mikrometer finden sich etwa zehn dieser strukturen auf der Membran, ein einzelnes Loch misst zwischen zwanzig und achtzig nanometer im Durchmesser. Die Durchmesser der Löcher variieren und verkleinern sich von der Mitte der Membran nach außen hin. Je nach größe des Lochs wird die dort einfallende Lichtstrahlung verzögert und kollabiert dadurch zu einem winzigen Fokalpunkt. Für die ","PeriodicalId":42842,"journal":{"name":"Vakuum in Forschung und Praxis","volume":null,"pages":null},"PeriodicalIF":0.1,"publicationDate":"2023-06-01","publicationTypes":"Journal Article","fieldsOfStudy":null,"isOpenAccess":false,"openAccessPdf":"","citationCount":null,"resultStr":null,"platform":"Semanticscholar","paperid":"46116258","PeriodicalName":null,"FirstCategoryId":null,"ListUrlMain":null,"RegionNum":0,"RegionCategory":"","ArticlePicture":[],"TitleCN":null,"AbstractTextCN":null,"PMCID":"","EPubDate":null,"PubModel":null,"JCR":null,"JCRName":null,"Score":null,"Total":0}
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Produkte: Vakuum in Forschung und Praxis 3/2023 产品:真空在研究和实践3/2023
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Vakuum in Forschung und Praxis Pub Date : 2023-06-01 DOI: 10.1002/vipr.202370303
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Bezugsquellen: Vakuum in Forschung und Praxis 3/2023 研究和实践中的真空
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Vakuum in Forschung und Praxis Pub Date : 2023-06-01 DOI: 10.1002/vipr.202370308
{"title":"Bezugsquellen: Vakuum in Forschung und Praxis 3/2023","authors":"","doi":"10.1002/vipr.202370308","DOIUrl":"https://doi.org/10.1002/vipr.202370308","url":null,"abstract":"","PeriodicalId":42842,"journal":{"name":"Vakuum in Forschung und Praxis","volume":null,"pages":null},"PeriodicalIF":0.1,"publicationDate":"2023-06-01","publicationTypes":"Journal Article","fieldsOfStudy":null,"isOpenAccess":false,"openAccessPdf":"","citationCount":null,"resultStr":null,"platform":"Semanticscholar","paperid":"42940810","PeriodicalName":null,"FirstCategoryId":null,"ListUrlMain":null,"RegionNum":0,"RegionCategory":"","ArticlePicture":[],"TitleCN":null,"AbstractTextCN":null,"PMCID":"","EPubDate":null,"PubModel":null,"JCR":null,"JCRName":null,"Score":null,"Total":0}
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Ideal abgestimmt auf jeden Prozess 完美的契机
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Vakuum in Forschung und Praxis Pub Date : 2023-06-01 DOI: 10.1002/vipr.202370306
jeden Prozess, Schwankender Vakuumbedarf
{"title":"Ideal abgestimmt auf jeden Prozess","authors":"jeden Prozess, Schwankender Vakuumbedarf","doi":"10.1002/vipr.202370306","DOIUrl":"https://doi.org/10.1002/vipr.202370306","url":null,"abstract":"Unabhängig vom Vakuumprozess kann ein variabler Drehzahlantrieb (Variable Speed Drive, VSD), auch bekannt als frequenzgeregelter Antrieb, eine Produktion wirtschaftlicher machen. Normalerweise laufen Vakuumpumpen mit einer festen Drehzahl. Wenn jedoch der Bedarf im Laufe der Zeit schwankt, läuft die Vakuumpumpe weiterhin mit voller Leistung, auch wenn diese gar nicht benötigt wird. Ein VSD regelt die Drehzahl des Pumpenmotors und passt das Saugvermögen an die Bedarfsschwankungen an. Dies führt zu erheblichen Energieeinsparungen, geringeren CO2-Emissionen und reduzierten Wartungskosten. Ein variabler Drehzahlantrieb (VSD) ist ein digitaler Controller, der die Drehzahl eines Motors regelt. Damit lässt sich das Saugvermögen einer Vakuumpumpe exakt an die tatsächlichen Anforderungen Ihres Prozesses anpassen. Das Resultat: Erhebliche Energieeinsparungen. Busch Vacuum Solutions bietet eine Vielzahl von Vakuumpumpen mit integriertem VSD an. Mit Retrofit Kits können sogar bereits eingesetzte Vakuumpumpen auf einfache Art und Weise nachgerüstet werden.","PeriodicalId":42842,"journal":{"name":"Vakuum in Forschung und Praxis","volume":null,"pages":null},"PeriodicalIF":0.1,"publicationDate":"2023-06-01","publicationTypes":"Journal Article","fieldsOfStudy":null,"isOpenAccess":false,"openAccessPdf":"","citationCount":null,"resultStr":null,"platform":"Semanticscholar","paperid":"43440543","PeriodicalName":null,"FirstCategoryId":null,"ListUrlMain":null,"RegionNum":0,"RegionCategory":"","ArticlePicture":[],"TitleCN":null,"AbstractTextCN":null,"PMCID":"","EPubDate":null,"PubModel":null,"JCR":null,"JCRName":null,"Score":null,"Total":0}
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V2023 – Der Branchentreff im Herbst V2023——秋季行业会议
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Vakuum in Forschung und Praxis Pub Date : 2023-06-01 DOI: 10.1002/vipr.202370301
U. Klotzbach
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News: Vakuum in Forschung und Praxis 3/2023 新闻:研究和实践的真空
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Vakuum in Forschung und Praxis Pub Date : 2023-06-01 DOI: 10.1002/vipr.202370302
{"title":"News: Vakuum in Forschung und Praxis 3/2023","authors":"","doi":"10.1002/vipr.202370302","DOIUrl":"https://doi.org/10.1002/vipr.202370302","url":null,"abstract":"Die Helmholtz-Gemeinschaft hat drei neue Innovationsplattformen ausgewählt, die nun gefördert werden. An zweien davon ist das HelmholtzZentrum Berlin (HZB) beteiligt: Die Innovationsplattform zu Beschleunigertechnologien HI-ACTs soll moderne Beschleuniger für vielfältige Anwendungen öffnen, während die Innovationsplattform solar TAP (solar Technology Acceleration Platform) neue Ideen aus den Laboren der Photovoltaikforschung rascher in die Anwendung bringen soll. Insgesamt erhält das HZB aus Mitteln des Pakts für Forschung und Innovation in den kommenden drei Jahren 4,2 Millionen euro an Zuwendungen. Innovationsplattformen schaffen Zugang zu Ideen und spannenden Infrastrukturen und erleichtern so den Austausch zwischen den Forschungszentren sowie externen Interessenten. Um neue strukturen für den Technologietransfer und die gemeinsame Nutzung von Großgeräten, Forschungsinfrastrukturen und Daten zu schaffen, fördert die Helmholtz-Gemeinschaft nun drei neue Innovationsplattformen, zu Beschleunigertechnologie, Photovoltaik sowie zur Ozeanforschung. Insgesamt erhält das HZB aus Mitteln des Pakts für Forschung und Innovation in den kommenden drei Jahren 4,2 Millionen euro an Zuwendungen, dazu kommen eigenmittel. Nach einer positiven Zwischenevaluierung 2025 kann die Finanzierung dieser Innovationsplattformen verstetigt werden. Teilchenbeschleuniger helfen in der Medizin bei der entwicklung von neuartigen Tumortherapien oder Arzneimitteln, in der Materialforschung reicht das spektrum von Hochleistungshalbleitern bis zu neuartigen und nachhaltigeren Materialien. Bisher ist der Zugang zu Teilchenbeschleunigern jedoch aufwändig. Mit der Innovationsplattform HI-ACTs wollen die Helmholtz-Zentren Deutsches elektronen-synchrotron DesY, das Helmholtz-Zentrum DresdenRossendorf, das Helmholtz-Zentrum Berlin für Materialien und energie, das Helmholtzzentrum für schwerionenforschung und das Helmholtz-Zentrum Hereon ihre Beschleuniger-Technologien für Industrie, wissenschaft und Gesellschaft öffnen und zugänglich machen. Dadurch sollen marktfähige Lösungen für die Materialforschung, die Medizin aber auch die energiewirtschaft entstehen. Gleichzeitig können die Anlagen weiter verbessert werden, sodass sie langfristig für ein breiteres Anwendungsspektrum genutzt werden können. „Das HZB erhält bei HI-ACTs die Chance, lange geplante Verbesserungen in unserer Nutzer-Koordination umzusetzen“, sagt Dr. Paul Harten, Leiter der Abteilung Technologietransfer. Um die Klimaziele in Deutschland und europa zu erreichen, müssen erneuerbare energien massiv ausgebaut werden. Für die Photovoltaik (PV) – also energie aus sonne – bedeutet das, dass solarmodule etwa zwei bis vier Prozent der Landfläche bedecken müssten. Das erfordert neben dem Neubau von großflächigen solarparks die vermehrte Doppelnutzung existierender Flächen: Flexible und noch effizientere PV-Anlagen können auf bestehenden Infrastrukturen installiert werden. Mit der Innovationsplattform solar TAP entwickeln das Fors","PeriodicalId":42842,"journal":{"name":"Vakuum in Forschung und Praxis","volume":null,"pages":null},"PeriodicalIF":0.1,"publicationDate":"2023-06-01","publicationTypes":"Journal Article","fieldsOfStudy":null,"isOpenAccess":false,"openAccessPdf":"","citationCount":null,"resultStr":null,"platform":"Semanticscholar","paperid":"45881897","PeriodicalName":null,"FirstCategoryId":null,"ListUrlMain":null,"RegionNum":0,"RegionCategory":"","ArticlePicture":[],"TitleCN":null,"AbstractTextCN":null,"PMCID":"","EPubDate":null,"PubModel":null,"JCR":null,"JCRName":null,"Score":null,"Total":0}
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Index/Impressum: Vakuum in Forschung und Praxis 3/2023 索引/流量:研究和实践的真空
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Vakuum in Forschung und Praxis Pub Date : 2023-06-01 DOI: 10.1002/vipr.202370309
{"title":"Index/Impressum: Vakuum in Forschung und Praxis 3/2023","authors":"","doi":"10.1002/vipr.202370309","DOIUrl":"https://doi.org/10.1002/vipr.202370309","url":null,"abstract":"","PeriodicalId":42842,"journal":{"name":"Vakuum in Forschung und Praxis","volume":null,"pages":null},"PeriodicalIF":0.1,"publicationDate":"2023-06-01","publicationTypes":"Journal Article","fieldsOfStudy":null,"isOpenAccess":false,"openAccessPdf":"","citationCount":null,"resultStr":null,"platform":"Semanticscholar","paperid":"41561919","PeriodicalName":null,"FirstCategoryId":null,"ListUrlMain":null,"RegionNum":0,"RegionCategory":"","ArticlePicture":[],"TitleCN":null,"AbstractTextCN":null,"PMCID":"","EPubDate":null,"PubModel":null,"JCR":null,"JCRName":null,"Score":null,"Total":0}
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Termine: Vakuum in Forschung und Praxis 3/2023 截止日期研究和实践真空
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Vakuum in Forschung und Praxis Pub Date : 2023-06-01 DOI: 10.1002/vipr.202370307
Informationen Unter
{"title":"Termine: Vakuum in Forschung und Praxis 3/2023","authors":"Informationen Unter","doi":"10.1002/vipr.202370307","DOIUrl":"https://doi.org/10.1002/vipr.202370307","url":null,"abstract":"SEPTEMBER 2023 17. – 21. 20th IUVSTA School Vacuum Gas Dynamics Marseilles, Frankreich www.iuvsta‐school‐2023.com 19. – 21. V2023 Vakuum & Plasma Dresden www.efds.org/die-v 20. – 21. W3+ Fair im Rheintal Dornbirn, Österreich https://w3-fair.com/rheintal 26. – 28. parts2clean Stuttgart www.parts2clean.de 26. – 29. 19th International Conference on Thin Films (ICTF-2023) Burgos, Spanien https://ictf2023.com","PeriodicalId":42842,"journal":{"name":"Vakuum in Forschung und Praxis","volume":null,"pages":null},"PeriodicalIF":0.1,"publicationDate":"2023-06-01","publicationTypes":"Journal Article","fieldsOfStudy":null,"isOpenAccess":false,"openAccessPdf":"","citationCount":null,"resultStr":null,"platform":"Semanticscholar","paperid":"44720137","PeriodicalName":null,"FirstCategoryId":null,"ListUrlMain":null,"RegionNum":0,"RegionCategory":"","ArticlePicture":[],"TitleCN":null,"AbstractTextCN":null,"PMCID":"","EPubDate":null,"PubModel":null,"JCR":null,"JCRName":null,"Score":null,"Total":0}
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The “LED‐version” of the electron gun 电子枪的“LED版本”
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Vakuum in Forschung und Praxis Pub Date : 2023-06-01 DOI: 10.1002/vipr.202300801
M. Bachmann, F. Düsberg, A. Pahlke, S. Edler, A. Schels, F. Herdl, M. Hausladen, P. Buchner, R. Schreiner
{"title":"The “LED‐version” of the electron gun","authors":"M. Bachmann, F. Düsberg, A. Pahlke, S. Edler, A. Schels, F. Herdl, M. Hausladen, P. Buchner, R. Schreiner","doi":"10.1002/vipr.202300801","DOIUrl":"https://doi.org/10.1002/vipr.202300801","url":null,"abstract":"We report on our progress to develop and optimize electron sources for practical applications. A simple fabrication process is introduced based on a wafer dicing saw and a wet chemical etch step without the need for a clean room. Due to the formation of crystal facets the samples show a homogeneous geometry throughout the array. Characterization techniques are developed to systematically compare various arrays. A very defined measurement procedure based on current controlled IV‐sweeps as well as lifetime measurements at various currents is proposed. To investigate the current distribution in the array a commercial CMOS detector is used and shows the potential for in depth analysis of the arrays. Finally, a compact hermetically sealed housing is presented enabling electron generation in atmospheric pressure environments.","PeriodicalId":42842,"journal":{"name":"Vakuum in Forschung und Praxis","volume":null,"pages":null},"PeriodicalIF":0.1,"publicationDate":"2023-06-01","publicationTypes":"Journal Article","fieldsOfStudy":null,"isOpenAccess":false,"openAccessPdf":"","citationCount":null,"resultStr":null,"platform":"Semanticscholar","paperid":"42489619","PeriodicalName":null,"FirstCategoryId":null,"ListUrlMain":null,"RegionNum":0,"RegionCategory":"","ArticlePicture":[],"TitleCN":null,"AbstractTextCN":null,"PMCID":"","EPubDate":null,"PubModel":null,"JCR":null,"JCRName":null,"Score":null,"Total":0}
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