查看最新文献
订阅
分享
109发文信息
历年影响因子
历年发表
投稿信息
Advanced Etch Technology and Process Integration for Nanopatterning XII - 最新文献
Advanced process technologies for photonics waveguide patterning
Pub Date : 2023-06-20 DOI: 10.1117/12.2657729 E. Geiss, M. Aminpur, R. Sporer, V. Seshachalam, P. Timoney, Brendan O'Brien, J. LaRose, E. Barlaz, Cameron Werner, Katie Lutker-Lee, Luis Fernandez, Brian Pfeifer, C. Mbanaso, Yan Shao, Angélique RaleyUltra-low energy radical treatments for advanced 3D device structures
Pub Date : 2023-04-30 DOI: 10.1117/12.2659121 Seung Park, Yong-Hee Choi, David Lo, M. Kawaguchi, C. Das
免责声明：
本页显示期刊或杂志信息，仅供参考学习，不是任何期刊杂志官网，不涉及出版事务，特此申明。如需出版一切事务需要用户自己向出版商联系核实。若本页展示内容有任何问题，请联系我们，邮箱：info@booksci.cn，我们会认真核实处理。
本页显示期刊或杂志信息，仅供参考学习，不是任何期刊杂志官网，不涉及出版事务，特此申明。如需出版一切事务需要用户自己向出版商联系核实。若本页展示内容有任何问题，请联系我们，邮箱：info@booksci.cn，我们会认真核实处理。
京公网安备 11010802042870号
