Operando XSTM表征技术,登上Nature!

纳米人 2026-07-06 17:40
文章摘要
基于二维材料的晶体管因其优异静电控制被视为1nm以下逻辑节点的候选,但传统方法难以直接测量接触区的载流子注入分布。本研究通过开发Operando截面扫描隧道显微镜技术,在亚纳米尺度直接测量了Bi/MoS2晶体管接触区的载流子传输长度(LT)约为2.0-3.0 nm,远低于传统估算值。背景:二维晶体管沟道微缩研究深入,但缺乏直接探测载流子注入区域的实验技术;研究目的:开发可在器件工作状态下直接测量注入长度的XSTM技术,明确金属接触的微缩限制;结论:Bi/MoS2接触的超短传输长度满足1nm节点要求,为超微型器件设计提供了关键物理指标。
Operando XSTM表征技术,登上Nature!
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