AS | 南京大学陈延峰，卢明辉，张子栋：摆脱底电极依赖的高泛音体声波谐振器新架构

传统高泛音体声波谐振器（HBAR）依赖金属底电极激发声波，但底电极会引入声阻抗失配和杂散模式，限制器件性能。南京大学陈延峰、卢明辉、张子栋团队提出一种无需底电极的横向激励高泛音厚度剪切体声波谐振器（X-HTBAR）。该器件基于128°Y切铌酸锂薄膜与高阻硅衬底异质集成，通过顶部共平面电极产生横向电场，激发厚度剪切模并将声能耦合入硅衬底，形成高阶泛音谐振。研究目的旨在摆脱传统底电极依赖，提升声阻抗匹配和低损耗传输性能。实验表明，X-HTBAR在0.1–1.8 GHz频段内呈现清晰多模谐振谱，机械品质因子达10³–10⁵量级，频率-品质因子乘积超10¹³，且具备杂散模式抑制和模态体积调控能力。结论指出，该架构在声阻抗匹配、低损耗传输和可扩展性方面具有优势，有望应用于微波滤波器、低相噪振荡器及5G/6G射频前端器件。