王曾晖、徐博等《Advanced Materials》:基于二维复合材料的高精度传感器
材料科学与工程
2026-06-11 09:00
文章摘要
背景:二维材料因其原子级厚度在纳米机电系统(NEMS)传感器中展现出超高精度检测潜力,但环境温度波动引起的热膨胀会导致频率漂移,严重影响传感器的温度稳定性和测量精度。研究目的:电子科技大学与上海交通大学的研究团队旨在通过人工设计二维复合材料,调控热膨胀效应,解决传统二维NEMS传感器温度稳定性差的根本难题,实现高精度压力检测。结论:团队利用二维材料的“层”自由度和多样化热膨胀特性,通过堆叠异质结精准控制热膨胀行为,构建温度不敏感的二维纳米机械谐振器。所研制的压力传感器在200 K至400 K宽温区内频率波动仅为0.0034%/K,相比传统器件提升两个数量级以上,在1至250 mbar压力范围内温度稳定性信号误差比提升约2000倍。该研究为二维材料的物性工程提供了新思路,推动了其在高精度、真实环境传感中的应用。
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