电子科大王曾晖等Science China Information Sciences：二硫化钨纳米机电谐振器

背景:二维过渡金属硫族化合物兼具优异电学与力学性能，被视为新一代微纳器件的重要候选材料，但二硫化钨在高频纳机电系统中的动力学规律缺乏系统研究。研究目的:为填补这一空白，研究团队制备了30个不同尺寸与厚度的WS2圆形鼓膜纳机电谐振器，利用激光干涉测量系统精确表征其振动行为，以提取其力学参数并揭示频率尺度关系。结论:研究实现了从高频到甚高频范围的稳定工作，提取出二维WS2的杨氏模量约为141.7 GPa，阐明了频率尺度关系，并发现随着厚度变化，谐振器经历从膜主导到板主导的连续弹性转变，存在一个关键的过渡区，处于该区域的低张力器件在0–10 V栅压范围内可实现约36%的频率调谐能力。这一研究为WS2纳米机电器件的结构设计与性能优化提供了指导框架，并为高频传感与可调射频应用拓展了新的实现路径。