[文献速递Vol.308]-基于MEMS技术的光纤微结构水听器探头

本文提出了一种基于MEMS技术的光纤法布里-珀罗（F-P）干涉式水听器探头，旨在解决传统MEMS水听器灵敏度低、耐静水压能力不足及信号解调保真度差等问题。通过理论建模、有限元仿真及实验验证，优化了硅基敏感膜的结构参数，并开发了抗压封装设计。实验结果表明，封装后探头在200米水深（2 MPa）下仍保持稳定，灵敏度达-170 dB，为深海声学探测提供了高性价比解决方案。