华南理工殷盼超教授 Angew：聚合物亚纳米粒子超分子复合膜用于高精度纳米压印

华南理工大学殷盼超教授团队开发了一种新型的超分子复合膜，用于高精度纳米压印（NIL）。该复合膜由聚乙烯醇（PVA）和亚纳米尺度的Keggin型多金属氧簇（POM）组成，通过水溶液共混制备，具有低残余应力、高透光性、高强度和高模量等特性。这种材料在室温下和低压印压力条件下，能够实现亚2 nm分辨率的纳米压印，适用于高曲率表面和多种物理化学性质表面的微纳结构转印。该研究解决了传统纳米压印技术中高温度和高压力的限制问题，为集成电路和光波导材料等领域的先进制造提供了新的可能性。