微光机电高精密位移传感技术：综述 | MDPI Micromachines

本文综述了微光机电系统（MOEMS）在高精密位移传感技术中的应用和发展。研究背景指出，高精度位移传感在工业生产和科学研究中具有重要意义，而MOEMS技术的快速发展为微型化高精密位移传感提供了新的平台。文章详细介绍了MOEMS位移传感技术的分类，包括导波式和空间式，并分析了不同技术的典型指标如分辨率、灵敏度、精度和量程。总结部分强调了MOEMS位移传感技术面临的挑战，如全集成设计、提高传感参数和实现智能化传感。未来研究方向包括利用异质集成技术、新结构和新原理提高性能，以及借助人工智能技术提高测量精度。