Light | 硅基超高亮度Micro-LED微显示芯片制造
中国光学
2024-10-11 18:08
文章摘要
本文介绍了湖南大学潘安练教授和李东教授团队联合诺视科技、晶能光电等合作者，成功开发了基于硅基GaN的高质量Micro-LED外延片制备工艺、非对准键合集成技术和原子级侧壁钝化技术，实现了超高亮度的绿光Micro-LED微显模组。研究团队通过湿法处理技术、原子级钝化技术和垂直非对准键合技术，成功制备出超高亮度的Micro-LED微显矩阵和与硅基CMOS集成的Micro-LED微显示屏，为高亮度GaN基Micro-LED微显示的规模化制造和应用提供了重要支撑。
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