Microelectronic and MEMS Technologies

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Microelectronic and MEMS Technologies - 最新文献

Bio/chemical microsystem designed for wafer scale testing

Pub Date : 2001-04-30 DOI: 10.1117/12.425298 A. M. Jorgensen, K. Mogensen, Weimin Rong, P. Telleman, J. P. Kutter

Vertical hall sensor of high sensitivity and excellent confinement fabricated on the (110) silicon substrate

Pub Date : 2001-04-30 DOI: 10.1117/12.425332 H. Chiu, Shey-Shi Lu, Hai Lan

New actuation structure for the deformation of continuous mirrors for adaptive optics

Pub Date : 2001-04-30 DOI: 10.1117/12.425306 E. Quevy, L. Buchaillot, D. Collard
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