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ASDAM '98. Conference Proceedings. Second International Conference on Advanced Semiconductor Devices and Microsystems (Cat. No.98EX172) - 最新文献
SIMS characterization of fluorinated SiO/sub 2/ films
Pub Date : 1998-10-05 DOI: 10.1109/ASDAM.1998.730160 A. Efremov, G. Romanova, V. LitovchenkoMonte Carlo simulations of the transport of sputtered particles
Pub Date : 1998-10-05 DOI: 10.1109/ASDAM.1998.730167 K. Macek, P. Macek, U. HelmerssonNitrogen influence on the properties of the /spl alpha/-C films and /spl alpha/-C/Si heterojunction
Pub Date : 1998-10-05 DOI: 10.1109/ASDAM.1998.730162 T. V. Semikina, A.N. Shmyryeva
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