研究进展：纳米谐振器-非接触摩擦，光子晶体微腔 | Nature Physics

本文背景是超相干纳米机械谐振器在量子技术、传感器等领域的应用潜力巨大，但其性能易受环境影响。研究目的在于探究当此类谐振器靠近介电材料时，是否会产生额外能量耗散，从而损伤其机械相干性。实验通过制备高压应力氮化硅悬空弦及集成光子晶体微腔的谐振器，利用光学干涉仪测量其品质因子。结论表明，当谐振器与介电材料的间隙缩小至150纳米时，品质因子下降高达十倍。这种耗散源于携带静电荷的谐振器运动引起介电材料内部的介电损耗，即“非接触摩擦”效应。研究揭示了集成超相干纳米机械谐振器面临的局限性，强调了带电缺陷的不利影响。