清华大学林朝阳/田禾,Nature Electronics!
纳米人
2026-06-25 09:19
文章摘要
本文背景: 可溶液加工的二维半导体在低温大面积电子器件制造中具有潜力,但液相法制备的材料在电学性能和空气稳定性上长期落后于化学气相沉积法,特别是InSe和黑磷等材料易被环境破坏。研究目的: 清华大学林朝阳与田禾团队旨在通过电化学分子插层与液相剥离方法,制备兼具高迁移率和优异空气稳定性的二维硒化铜铟(CuIn5Se8)半导体材料,并实现晶圆级薄膜沉积和集成应用。结论: 成功剥离出空气稳定的CuIn5Se8纳米晶体胶体溶液,并通过旋涂法制备四英寸晶圆级薄膜。通过去除表面吸附水分子,场效应晶体管平均电子迁移率达155 cm²·V⁻¹·s⁻¹,开关比10⁷,滞回小。集成120个晶体管构建的原型微处理器可在2.2 kHz频率下完成数字信号处理,验证了液相合成二维半导体在复杂集成电路中的应用前景。
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