清华大学团队实现厚样品的超分辨成像和深亚皮米精度

传统的原子分辨成像技术受限于样品厚度，通常要求样品厚度小于20纳米，这限制了超分辨成像在致密固体材料中的应用。清华大学于荣团队提出并实现了扩展局域轨道叠层成像（eLOP）方法，通过将电子束描述为与扫描位置相关的像差函数，并结合能量过滤技术，在厚达85纳米的硅单晶中实现了深亚埃分辨（信息极限达18皮米）和深亚皮米精度（原子间距测量精度达0.39皮米）的原子成像。该方法不仅大幅放宽了对样品厚度的要求，还缓解了薄样品的尺寸效应，有望在物理、化学、材料科学和半导体器件工程等领域获得广泛应用。