突破耐久极限!北京大学,重磅Science!

顶刊收割机 2026-02-01 08:30
文章摘要
背景:铁电材料在非易失性存储器和下一代电子器件中潜力巨大,但传统铁电氧化物薄膜存在结构不均匀、界面退极化及性能衰退等问题,尤其在微缩至先进技术节点时更为突出。研究目的:北京大学团队旨在开发一种超薄、均匀且与后端工艺兼容的范德华铁电氧化物,以克服现有材料的局限,实现高性能、低功耗的铁电场效应晶体管。结论:研究成功实现了4英寸晶圆级范德华铁电氧化物Bi2SeO5的可控制备,该材料具备原子层均匀性、高介电常数及抗退极化场特性。基于此构建的铁电场效应晶体管阵列实现了0.8V超低工作电压、超低能耗、超过1.5×10^12次循环耐久性及高器件均匀性,所开发的存内逻辑电路可在亚1V电压下运行,为后摩尔时代计算架构提供了可扩展、可靠且兼容三维集成的二维铁电平台。
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