原子级加工之团簇模式：叠落满天星

背景：原子级制造作为面向未来高端制造的有力选项，正在快速发展，尤其在芯片制造领域，微纳加工技术正向原子级精度挺进。研究目的：文章探讨了原子级制造的核心元素，特别是原子级加工技术面临的挑战，并重点介绍了南京大学宋凤麒教授团队提出的原子团簇加工模式，旨在解决当前原子级堆砌（沉积）和去除（刻蚀）技术中存在的界面扩散、损伤缺陷和加工局域化三大问题。结论：原子团簇加工模式通过利用团簇的非遍历性、稳定性选择和低能量轰击，有望实现原子级精度的加工，同时抑制界面反应和晶格损伤，为原子级制造提供了新的可能方案，尽管该模式仍需更多实验验证和完善。