AMI | 中国科学院宁波材料所综述：过渡金属氮化物薄膜的兴起
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2025-11-11 07:00
文章摘要
本文从凝聚态物理和材料物理角度系统综述了过渡金属氮化物薄膜的研究现状。背景方面，过渡金属氮化物具有高硬度、良好导电性和化学稳定性等优异性能，在量子计算和等离激元领域应用潜力巨大。研究目的旨在解决高质量单晶制备难题，重点探讨了分子束外延、脉冲激光沉积和磁控溅射外延等薄膜沉积技术的进展，特别强调了原子级精度磁控溅射外延的独特优势。结论表明，精确制备的单晶薄膜不仅能提升超导量子器件、自旋电子器件等性能，还为理解材料本征物理性质奠定了重要基础。
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