香港科技大学（广州）王蕴达团队SMTD：高精度、大面积金属薄膜转移助力微纳制造与异构集成

MaterialsViews 2025-11-01 08:30

文章摘要

背景：随着柔性电子和异质集成器件的快速发展，传统金属沉积工艺面临界面损伤和基底兼容性等问题。研究目的：开发一种高精度、大面积金属薄膜干法转移技术，以解决传统工艺的局限性。结论：基于形状记忆聚合物的转移技术实现了亚微米级精度和多种金属/基底兼容，为微纳制造提供了新方案。

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