南京大学/苏州实验室，重磅Science！
纳米人
2025-10-26 20:12
文章摘要
本文研究背景聚焦于二维过渡金属二硫属化物作为半导体技术的关键材料，面临缺乏通用外延策略和衬底对称性导致畴反平行问题。研究目的是通过镧钝化蓝宝石衬底，实现单晶TMDCs的晶圆级生长，解决畴对齐难题。结论表明该方法成功制备了150毫米单晶TMDC晶圆，材料均匀性和电学性能优异，MoS2和WSe2迁移率分别达110和131 cm²/V·s，为下一代电子器件提供了可行路径。
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