哈工大机器人技术与系统全国重点实验室刘英想教授团队AMT：一种受舞狮启发的具备3自由度、快速度和高分辨力的并联式超声微纳操控平台

研究背景：精密平台在半导体制造和生物微操作等领域至关重要，压电超声驱动因其结构简单、速度快和定位精度高而成为新一代精密装备的核心驱动部件，但面临单机自由度有限和难以兼顾高速与高分辨力的关键问题。研究目的：受中国传统舞狮中“四足协同驱动”机制启发，开发一种新型并联式超声平台，通过四足压电腿的仿生设计实现稳定的X、Y及Θz三自由度运动，并引入驱动冗余以兼顾高速与高分辨率。结论：该平台在快速模式下直线与旋转速度分别达285mm/s和380°/s，精确模式下分辨率达90nm和40μrad，突破了现有超声平台瓶颈，为精密平面定位与对准任务提供了新思路。