北京大学,Nature Electronics!

研之成理 2025-10-05 15:40
文章摘要
背景:随着第六代无线通信技术的发展,对工作在太赫兹频段的射频器件需求日益迫切。传统硅基MOSFET和III-V族半导体存在频率性能不足或工艺兼容性问题。研究目的:通过优化栅极结构和制备工艺,开发基于定向碳纳米管阵列的高性能MOSFET,实现太赫兹频段工作。结论:成功制备出35nm栅长碳纳米管MOSFET,其功率增益截止频率首次突破1THz达1024GHz,并展示了30GHz毫米波放大器21.4dB的增益性能,器件在关键指标上优于现有技术,为6G通信和太赫兹系统集成奠定基础。
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