重庆大学艾斌Chemical Society Reviews:基于阴影球光刻、等离子体与人工智能的下一代智能传感

纳米人 2025-09-29 19:42
文章摘要
本文系统回顾了2019-2024年智能传感领域的研究进展。背景方面,传统传感器难以满足现代工业对精度和稳定性的要求,等离子体微纳光学传感器成为重要发展方向。研究目的旨在实现物理驱动设计、可扩展制造与数据驱动分析三大方向的深度融合。结论表明,通过阴影球光刻技术实现亚50纳米图案化,结合等离子体共振模式和人工智能分析,可构建闭环智能传感系统,在毫米级传感器中实现高折射率分辨率,为能源、医疗等领域的智能检测提供技术支撑。
重庆大学艾斌Chemical Society Reviews:基于阴影球光刻、等离子体与人工智能的下一代智能传感
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Issue Editorial Masthead
DOI: 10.1021/apv007i018_1988184 Pub Date : 2025-09-26
IF 4.7 2区 化学 Q2 ACS Applied Polymer Materials
纳米人
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