AMT | 刘英想教授团队：一种受舞狮启发的具备3自由度、快速度和高分辨力的并联式超声微纳操控平台

背景：精密平台在半导体制造和生物微操作等领域至关重要，压电超声驱动技术因速度快和定位精度高而备受关注，但面临单机自由度有限和难以兼顾高速与高分辨力的挑战。研究目的：受中国传统舞狮“四足协同驱动”机制启发，开发一种新型并联式超声平台，旨在实现稳定的三自由度运动控制，并突破高速与高分辨率难以兼顾的瓶颈。结论：该平台采用四个纵-弯振模态简并的垂直式压电腿，通过轴对称交叉构型实现快速模式（速度达285 mm/s和380°/s）和精确模式（分辨率达90 nm和40 μrad）的灵活切换，为精密装备驱动单元提供了新思路。