从三维堆叠到活体刻写：冰刻技术如何攻克微纳制造痛点

本文回顾了冰刻技术的发展历程及其在微纳制造领域的应用。冰刻技术是一种基于电子束与低温材料相互作用的新型微纳加工方法，具有原位观察和对准、非平面衬底加工、敏感易损材料加工等优势。文章总结了冰刻技术在工艺原理、仪器系统、材料体系和应用场景等方面的重要进展，并展望了未来发展方向。冰刻技术在简化微纳加工工序、推动三维纳米制造等方面具有广阔前景。