宋清海/徐科等Light | 高光谱通道密度片上衍射散斑光谱仪

中国光学 2025-07-02 19:06
文章摘要
本文介绍了哈尔滨工业大学(深圳)徐科教授和宋清海教授团队提出的一种基于级联无序超构表面的硅基片上散斑光谱仪。该研究背景源于传统台式光谱仪在小型化和轻量化集成方面的不足,以及芯片级微型光谱仪在高分辨率和大带宽方面的挑战。研究目的是通过级联多层无序超构表面及多模输出衍射光栅,在亚平方毫米的芯片尺寸内实现高分辨率和宽带宽的光谱重构。实验结果表明,该光谱仪能够高精度重建单峰和多峰复合光谱,证明了其通用的光谱测量能力和高准确性。结论指出,该器件兼具工艺鲁棒性与规模化量产潜力,有望在不同应用场景得到应用。
宋清海/徐科等Light | 高光谱通道密度片上衍射散斑光谱仪
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