复旦大学，Nature Electronics!

本文介绍了复旦大学团队在二维过渡金属二硫属化合物（TMDs）晶体管研究中的突破。背景方面，随着半导体技术节点不断缩小，传统硅基晶体管面临短沟道效应和性能退化的挑战，而二维TMDs因其原子级薄层结构被视为理想候选材料。研究目的是通过优化金/钛/镍复合金属电极的沉积工艺，解决接触电阻和电流拥挤问题，实现晶体管接触长度与通道长度的同步缩小。结论显示，该研究成功将接触长度缩至30纳米以下，晶体管开关比超过108，导通电流达300 μA μm⁻¹，并展示了大规模晶体管阵列的低性能变异性和逻辑电路集成能力，为二维材料在先进集成电路中的应用铺平道路。