文献清单：“微机电系统”方向 | MDPI Sensors
MDPI工程科学
2025-04-15 16:37
文章摘要
本文介绍了微机电系统（MEMS）技术的前沿发展及其在多个领域的应用前景。MEMS技术融合了微电子与微机械，正朝着更小尺寸、更高精度和更低功耗的方向发展，广泛应用于物联网、智能穿戴、医疗健康、自动驾驶和航空航天等领域。文章列举了多篇关于MEMS技术的研究论文，涵盖了微波滤波器、谐振器、气体传感器、称重单元、力传感器等多个方向，展示了MEMS技术的多样性和创新性。此外，文章还介绍了Sensors期刊的相关信息，包括其收录情况和影响因子。
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