博士生一作!北京科技大学,2025年首篇Nature Materials!
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2025-01-12 08:18
文章摘要
本文介绍了北京科技大学张跃院士及张铮教授团队开发的一种名为“二维Czochralski(2DCZ)”的新方法,用于大规模生产高质量的二维过渡金属二硫族化物(TMDCs),特别是MoS2单晶。该方法在常压下快速生长出厘米级尺寸、无晶界的单晶MoS2域,展现出卓越的均匀性和高质量,具有极低的缺陷密度。通过这种方法制造的场效应晶体管(FET)显示出高器件良率和最小迁移率变化,为下一代集成电路的制造提供了重要的材料基础。研究背景指出,尽管化学气相沉积(CVD)已实现晶圆级MoS2单晶的生长,但存在晶界平移问题和高缺陷密度。2DCZ方法通过固体-液体-固体工艺,成功解决了这些问题,实现了大规模、高质量的MoS2单晶生长。结论表明,2DCZ方法不仅提高了MoS2的生长质量和规模,还促进了二维材料在集成电路中的应用。
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