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研之成理 2024-12-19 18:55
文章摘要
本文展示了使用粘性胶带的边缘暴露剥离法是一种简单、可扩展且可靠的方法,用于生产超薄且可转移的多晶金刚石膜。该方法能够大批量生产大面积、超薄、超平整和超柔性的金刚石膜,这些膜具有平整的工作表面,支持标准的微制造技术,并且它们的超柔性特性允许直接进行弹性应变工程和变形传感应用。系统的实验和理论研究揭示,剥离膜的质量取决于剥离角度和膜的厚度,通过优化操作窗口可以稳健地生产出基本完整的金刚石膜。这一单步方法为大规模生产高优值指数的金刚石膜开辟了新的途径,预计将加速金刚石在电子、光子学及相关领域的商业化和应用时代的到来。
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