Fabrication of SiO:CH Particle-agglomerated Films by PECVD with Vinyl-group Organosilicon Reactants

IF 0.4 4区化学 Q4 POLYMER SCIENCE

Journal of Photopolymer Science and Technology Pub Date : 2022-12-16 DOI:10.2494/photopolymer.35.283

Yuki Nakaizumi, K. Hasegawa, Yasushi Inoue, O. Takai

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以乙烯基有机硅为反应物的PECVD法制备SiO:CH颗粒团聚膜

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Journal of Photopolymer Science and Technology 化学-高分子科学

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期刊介绍： Journal of Photopolymer Science and Technology is devoted to the publication of articles on the scientific progress and the technical development of photopolymers.