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Dependence of Dissolution Kinetics of Main-Chain Scission Type Resists on Molecular Weight

Pub Date : 2022-12-16 DOI:10.2494/photopolymer.35.1
A. Konda, Hiroki Yamamoto, S. Yoshitake, T. Kozawa
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主链断裂型抗蚀剂溶解动力学与分子量的关系
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