13th Annual IEEE/SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference. Advancing the Science and Technology of Semiconductor Manufacturing. ASMC 2002 (Cat. No.02CH37259)

半导体技术 Pub Date : 2002-01-01 DOI:10.1109/ASMC.2002.1001562

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Abstract

The following topics are dealt with: advanced FEOL processing; fab dynamics; yield enhancement tools and methods; process control methodology; resource productivity management; yield modeling, analysis and enhancement; defect-free manufacturing; contamination-free manufacturing; cost management methodologies; advanced BEOL processing; advanced metrology.

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第13届IEEE/SEMI先进半导体制造年会。推进半导体制造科学技术。ASMC 2002 (Cat。No.02CH37259)

讨论了以下主题:先进的FEOL处理;工厂动力;提高产量的工具和方法;过程控制方法;资源生产力管理;良率建模、分析和改进;没有缺陷制造;3制造;成本管理方法;先进的BEOL处理;先进的计量。

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半导体技术

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