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半导体技术

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英文名称：

Semiconductor Technology

CN：

13-1109/TN

影响因子：

0.576

ISSN：

1003-353X

期刊官网：

http://www.bdtj.cbpt.cnki.net

主管：

中国电子科技集团公司

主办单位：

中国电子科技集团公司第十三研究所

发文信息

发文量：

8436

被引量：

29907

历年影响因子

历年发表

投稿信息

出版周期：

月刊

出版语言：

中文

邮政编码：

050002

Email：

bdtj1339@163.com

投稿网址：

http://bdtj.cbpt.cnki.net/EditorEN/index.aspx?t=1

编辑部地址：

河北省石家庄市

半导体技术 - 最新文献

A robust shallow trench isolation (STI) with SiN pull-back process for advanced DRAM technology

Pub Date : 2002-08-07 DOI: 10.1109/ASMC.2002.1001567 C.H. Li, K. Tu, H. Chu, I.H. Chang, W.R. Liaw, H.F. Lee, W. Lien, M. Tsai, W. Liang, W.G. Yeh, H. Chou, C.Y. Chen, M.H. Chi

Characterization of copper voids in dual damascene processes

Pub Date : 2002-08-07 DOI: 10.1109/ASMC.2002.1001632 R. Guldi, J. Shaw, J. Ritchison, S. Oestreich, K. Davis, R. Fiordalice

Accuracy of yield impact calculation based on kill ratio

Pub Date : 2002-08-07 DOI: 10.1109/ASMC.2002.1001580 M. Ono, H. Iwata, K. Watanabe

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