Fabrication of Si/SiO/sub 2/ Bragg reflectors by low energy multiple SIMOX

1997 IEEE International SOI Conference Proceedings Pub Date : 1997-10-06 DOI:10.1109/SOI.1997.634931

Y. Ishikawa, N. Shibata, S. Fukatsu

引用次数: 0

Abstract

We report successful fabrication of SIMOX-based epitaxial Bragg reflectors (BRs) to demonstrate the yet-to-be-explored potential of current SIMOX technology for conceivable optical applications.

查看原文本刊更多论文

低能量多层SIMOX制备Si/SiO/sub / Bragg反射器

我们报道了基于SIMOX的外延布拉格反射器(BRs)的成功制造，以展示当前SIMOX技术在可想象的光学应用中尚未探索的潜力。

本文章由计算机程序翻译，如有差异，请以英文原文为准。

求助全文

约1分钟内获得全文求助全文

来源期刊

1997 IEEE International SOI Conference Proceedings

自引率

0.00%

发文量