Bond strength of 3D-stacked monocrystalline silicon X-ray mirrors

2017 5th International Workshop on Low Temperature Bonding for 3D Integration (LTB-3D) Pub Date : 2017-05-01 DOI:10.23919/LTB-3D.2017.7947410

D. Girou, B. Landgraf, Ramses Guenther, M. Collon, M. Beijersbergen

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Abstract

This paper investigates the bond strength of flat directly-bonded structured monocrystalline silicon X-ray mirrors. We report on the sample manufacturing method and tensile strength testing measurements used to study the influence of annealing.

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