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Atomic Layer Deposition - 最新文献
Crystalline as-deposited TiO 2 anatase thin films grown from TDMAT and water using thermal atomic layer deposition with in situ layer-by-layer air annealing
Pub Date : 2024-06-04 DOI: 10.3897/aldj.2.117753 Jamie P. Wooding, K. Kalaitzidou, M. LosegoAtmospheric-pressure plasma-enhanced spatial atomic layer deposition of silicon nitride at low temperature
Pub Date : 2023-03-27 DOI: 10.3897/aldj.1.101651 Jie Shen, Fred Roozeboom, Alfredo Mameli
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