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Novel Patterning Technologies 2022 - 最新文献
Low variability metal pitch scaling with directed self-assembly
Pub Date : 2022-06-07 DOI: 10.1117/12.2623266 Gurpreet SinghExploring the synergy between EUV lithography and directed self-assembly
Pub Date : 2022-06-07 DOI: 10.1117/12.2622565 H. Suh, L. Verstraete, Julie Van Bel, P. Bézard, G. Mannaert, Jae Uk Lee, Shouhua Wang, I. Pollentier, Ashish Rathore
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