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Soft X-Ray Projection Lithography - 最新文献
Computational Analysis of Debris Formation in SXPL Laser-Plasma Sources
Pub Date : 1993-08-01 DOI: 10.1364/sxray.1993.tud.12 T. Trucano, D. Grady, R. Olson, A. FarnsworthPoint Diffraction Interferometry at Soft X-ray Wavelengths
Pub Date : 1993-07-01 DOI: 10.1364/sxray.1993.tuc.1 G. Sommargren, R. HostetlerX-ray characterization of a three-element condenser system for soft x-ray projection lithography
Pub Date : 1993-06-16 DOI: 10.1364/sxray.1993.mb.3 D. Gaines, G. Sommargren, S. Vernon, R. E. English
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