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European Workshop Materials for Advanced Metallization, - 最新文献
Multilevel interconnection technologies and future requirements for logic applications
Pub Date : 1997-11-01 DOI: 10.1557/PROC-514-29 M. BrillouetLaser reinforcement of polytetrafluorethylene-metal adhesive joints
Pub Date : 1997-03-16 DOI: 10.1109/MAM.1998.887558 N. I. Tishkov, N. Fedosenko, S. ChizhikPatterning of silicide layers by local oxidation
Pub Date : 1997-03-16 DOI: 10.1109/MAM.1998.887574 F. Klinkhammer, M. Dolle, S. Mantl
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