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2005 13th International Conference on Advanced Thermal Processing of Semiconductors - 最新文献
Ultra shallow junctions formed by sub-melt laser annealing
Pub Date : 2006-12-01 DOI: 10.1063/1.2401478 A. Falepin, T. Janssens, S. Severi, W. Vandervorst, S. Felch, V. Parihar, A. MayurInfrared emittance measurements at NIST
Pub Date : 2005-10-05 DOI: 10.1109/RTP.2005.1613711 L. Hanssen, B. Tsai, S. MekhontsevNear-ideal implanted shallow-junction diode formation by excimer laser annealing
Pub Date : 2005-10-04 DOI: 10.1109/RTP.2005.1613688 V. Gonda, A. Burtsev, T. Scholtes, L. Nanver
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