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TRANSDUCERS 2009 - 2009 International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference - 最新文献
Continuous Cellular Automaton for the simulation of the surface morphology on any silicon orientation Si{HKL} in anisotropic etching
Pub Date : 2009-10-13 DOI: 10.1109/SENSOR.2009.5285587 Y. Xing, M. Gosálvez, K. SatoSuspended microstructures made using silicon migration
Pub Date : 2009-06-21 DOI: 10.1109/SENSOR.2009.5285949 R. Kant, M. Ziaei-Moayyed, R. T. HoweHigh-performance humidity sensor with polyimide nano-grass
Pub Date : 2009-06-21 DOI: 10.1109/SENSOR.2009.5285959 Hyemin Lee, Seungwon Jung, Hyungchul Kim, Junghoon Lee
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