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International Conference on Microelectronic Test Structures - 最新文献
Sources of error in electrical measurements of dimensional offset and sheet resistance in the near- and sub-micron region
Pub Date : 1990-03-05 DOI: 10.1109/ICMTS.1990.67887 J. TragerSelf-multiplexing force-sense test structures for (MOS) IC applications
Pub Date : 1990-03-05 DOI: 10.1109/ICMTS.1990.67884 K.L.M. van der Klauw, J. Joosten, L. A. WallInvestigation of self-heating in VLSI and ULSI MOSFETs
Pub Date : 1990-03-05 DOI: 10.1109/ICMTS.1990.67907 P.G. Mautry, J. Trager
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