Journal of Vacuum Science & Technology B

Journal of Vacuum Science & Technology B
期刊缩写:
J VAC SCI TECHNOL B
影响因子:
1.4
ISSN:
print: 1071-1023
研究领域:
工程技术-工程:电子与电气
创刊年份:
1991年
自引率:
14.30%
Gold OA文章占比:
22.39%
原创研究文献占比:
99.35%
SCI收录类型:
Science Citation Index Expanded (SCIE)
期刊介绍英文:
Journal of Vacuum Science & Technology B emphasizes processing, measurement and phenomena associated with micrometer and nanometer structures and devices. Processing may include vacuum processing, plasma processing and microlithography among others, while measurement refers to a wide range of materials and device characterization methods for understanding the physics and chemistry of submicron and nanometer structures and devices.
发文信息
中科院SCI期刊分区
大类 小类 TOP期刊 综述期刊
4区 工程技术
4区 工程:电子与电气 ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC
4区 纳米科技 NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY
4区 物理:应用 PHYSICS, APPLIED
WOS期刊分区
历年影响因子
2019年1.5110
2020年1.4160
2021年1.5720
2022年1.4000
历年发表
2012年0
2013年0
2014年0
2015年0
2016年0
2017年0
2018年0
2019年0
2020年0
2021年0
2022年0
投稿信息
出版周期:
Bimonthly
出版语言:
English
出版国家(地区):
UNITED STATES
接受率:
100%
审稿时长:
2.5 months
出版商:
A V S AMER INST PHYSICS
编辑部地址:
A V S AMER INST PHYSICS, STE 1 NO 1, 2 HUNTINGTON QUADRANGLE, MELVILLE, USA, NY, 11747-4502

Journal of Vacuum Science & Technology B - 最新文献

Pneumatic controlled nanosieve for efficient capture and release of nanoparticles

Pub Date : 2022-12-01 DOI: 10.1116/6.0002107 Animesh Nanaware, Taylor Kranbuhl, Jesus Ching, Janice S. Chen, Xinye Chen, Qingsong Tu, Ke Du

Fabrication of ultrathin suspended membranes from atomic layer deposition films

Pub Date : 2022-03-01 DOI: 10.1116/6.0001309 Michael J. Elowson, R. Dhall, A. Schwartzberg, Stephanie Y. Chang, Vittoria Tommasini, S. B. Alam, E. Chan, S. Cabrini, S. Aloni

In-depth feasibility study of extreme ultraviolet damascene extension: Patterning, dielectric etch, and metallization

Pub Date : 2022-03-01 DOI: 10.1116/6.0001671 Xinghua Sun, Y. Mignot, Christopher Cole, E. Liu, Daniel Santos, Angélique Raley, Jennifer Church, Luciana Meli, S. Sieg, P. Biolsi
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