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GaNOI(GaN/SiO2/Si(100))异质集成材料中的缺陷演化研究 | 微系统所游天桂、欧欣课题组

SCIS 中国科学信息科学 2023-11-07 12:00
文章摘要
本文发表在Science China Information Sciences 2023年第11期上
GaNOI(GaN/SiO2/Si(100))异质集成材料中的缺陷演化研究 | 微系统所游天桂、欧欣课题组
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