想要造出芯片，先造出一个真空世界

本文从真空的基本概念出发，介绍了真空在芯片制造中的关键作用。文章首先澄清了真空并非绝对“空无一物”，而是压力低于大气压的气体稀薄状态。芯片制造需要极端的真空环境来避免微尘污染、保障精确化学反应、确保粒子束精准传播、以及稳定产生等离子体。文章进一步阐述了真空分级体系（低、中、高、超高真空）及其在半导体各工序中的应用，特别强调了真空蝶阀和电容薄膜真空计这两个核心控制部件对于维持工艺稳定性的关键作用。最后，文章介绍了季华实验室在真空高速蝶阀和电容薄膜真空计上的自主研发成果，这些成果已实现产业化，助力了中国半导体真空核心零部件的国产化突破。