鲍哲南院士、崔屹院士等重磅成果！这台“桌面神器”，连发8篇Nature正刊！

本文介绍了小型台式无掩膜直写光刻系统MicroWriter ML3，该设备凭借无掩膜设计、高精度(最高0.4μm)、高速度(最高180 mm²/min)、多光源适配等核心技术参数，重新定义了科研级光刻标准。在背景方面，微纳加工技术是前沿科研创新的核心驱动力，而传统光刻技术存在多种瓶颈。本文的研究目的在于展示MicroWriter ML3如何成为斯坦福大学、复旦大学等顶尖团队的核心工具，突破柔性电子、二维半导体、类脑芯片、太空电子、光子学、锂电池等领域的技术难题。结论指出，该设备已助力产出8篇《Nature》正刊及多篇高水平论文，例如鲍哲南院士团队利用其制备本征可拉伸集成电路、崔屹院士团队实现锂电池中孤立锂迁移的实时观测、周鹏院士团队研制出全球首款基于二维半导体的32位微处理器等，充分证明了其作为“桌面级微纳加工神器”的核心价值，为跨领域科研突破提供了坚实硬件支撑。